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yf19890603金蟲 (小有名氣)
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[求助]
作直流磁控濺射銅靶時(shí)，無法起輝。
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| 作直流磁控濺射銅靶時(shí)，無法起輝，以前做過數(shù)次都正常。這次調(diào)節(jié)濺射電壓時(shí)，電壓不變，電流卻急劇增大，請(qǐng)問是有什么原因引起？該如何解決？（氬氣為400sccm） |
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悠然zx11
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2樓2012-08-15 08:29:00
wxy1984
銅蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 142.3
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- 在線: 136.7小時(shí)
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- 專業(yè): 高分子材料的加工與成型
3樓2012-08-15 08:33:36
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