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URHX5454金蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
咨詢(xún)用CuIn合金靶和Se靶濺射制備CuInSe2的經(jīng)驗(yàn)，萬(wàn)分感謝！
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不知道論壇里那位學(xué)長(zhǎng)學(xué)姐做過(guò)濺射制備CuInSe2的經(jīng)驗(yàn)。 最近想用實(shí)驗(yàn)室已有的CuIn合金靶和Se靶濺射制備CuInSe2，濺射儀暫時(shí)只能是單靶濺射，所以只能先濺射CuIn合金靶，再替換成Se靶濺射。還有退火爐和Se粉可以做最后的Se化處理。 以上是實(shí)驗(yàn)室暫時(shí)擁有的條件，不知道哪位高手能指教一下，我這種方案可行嗎？  PS：（1）看到有篇文獻(xiàn)，說(shuō)由Cu-In inlay target換成 Cu-In alloy target 請(qǐng)問(wèn)這兩種靶材有什么區(qū)別呢？ （2）Se有毒，濺射的時(shí)候是否要做什么處理，機(jī)械泵的出氣口是否要連接管路排放有毒氣體？還有濺射Se一般需要注意些啥呢？ 萬(wàn)分感謝提供幫助的蟲(chóng)友們，  |
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