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300841511142鐵蟲 (初入文壇)
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AFM求助
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AFM中的PSD工作原理是怎么樣的?我的見(jiàn)解如下,不知有沒(méi)有錯(cuò)???請(qǐng)教下大家 首先,激光射在微懸臂上,反射,進(jìn)入PSD部件,我的問(wèn)題就在這,微懸臂的上下起伏是幾個(gè)納米級(jí)的,而PSD器件的分辨率好像才微米級(jí)的,我知其中有光杠桿作用,放大,PSD器件檢測(cè)光斑的位置變化,然后怎么對(duì)應(yīng)微懸臂幾個(gè)納米的起伏呢?有公式嗎?我手上只有微懸臂的參數(shù)而已。 第二點(diǎn),我一直搞不懂PSD的X與Y 2個(gè)維的方向,公司的AFM是用tapping mode,不是只要檢測(cè)它的Z方向而已么??也就是只要PSD上的Y方向的起伏對(duì)應(yīng)微懸臂上下起伏,為什么還要有水平的呢??? |

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