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jamie82木蟲 (著名寫手)
一三三
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[求助]
PVD與CVD方法沉積的SiO2、SiN膜層性能差異
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請問誰知道PVD方法與CVD方法沉積的SiO2薄膜性質(zhì)上有何差異？主要想知道致密性、耐腐蝕性、應(yīng)力之間有何差異。 另還想問一下能使用PVD方法制備SiN薄膜嗎？其性能又與CVD方法沉積的薄膜差異怎樣？ 請大俠不吝賜教   |
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2樓2012-11-05 20:12:38
wu1008
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3樓2012-12-01 16:18:32
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