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[求助]
分子束外延生長GaAs/AlGaAs HEMT的低遷移率問題
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| 剛剛恢復(fù)了系統(tǒng)，遷移率總是提不上去。最好的一次，77k遷移率10萬，室溫5k。一般經(jīng)常碰到室溫下載流子濃度比低溫下高的情況，比如77k下6E11，室溫則到1E12的濃度，應(yīng)該是缺陷密度較高。但是工藝是成熟工藝啊。非常上火。 |
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2樓2012-09-23 09:41:36
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