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雨過(guò)天晴57木蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
硅 濕法刻蝕 掩膜
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| 各位師兄師姐好，請(qǐng)問(wèn)硅濕法刻蝕40微米深，用哪種材料做掩膜比較結(jié)實(shí)，不宜被腐蝕掉，謝謝，如果有，請(qǐng)?zhí)峁┛涛g方法，我會(huì)追加金幣的。 |
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2樓2012-09-28 19:36:33
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【答案】應(yīng)助回帖
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如果是SiO＋SiN，那么光刻后進(jìn)行腐蝕，SiO用HF，最好是BOE，SiN用磷酸，查一下書(shū)或者啊網(wǎng)上找找配方。 這兩層腐蝕好以后，再做KOH。 沒(méi)條件的可以找地方加工，找不到的話call me |
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雨過(guò)天晴576樓2012-10-05 05:44:09
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7樓2012-10-10 15:39:42
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9樓2012-10-11 10:47:22
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