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安吉子
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[求助]
真空鍍膜：Vecoo機(jī)Hf靶材吸收疑問(wèn)
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跪問(wèn)大家有誰(shuí)對(duì)真空鍍膜技術(shù)：Vecoo機(jī)鍍膜時(shí)Hf靶材吸收方面有做過(guò)研究嗎？我們?cè)谧鑫諏?shí)驗(yàn)時(shí)，發(fā)現(xiàn)Hf靶材吸收很大，這個(gè)問(wèn)題一直解決不了。我們也做了很多O2和N2的流量實(shí)驗(yàn)，找不到KPIV（Key Point）。本人懸賞大量金幣，只要有信息就贈(zèng)送BB。還望有相關(guān)經(jīng)驗(yàn)的專(zhuān)家和前輩指點(diǎn)，比如有文獻(xiàn)或者資料能否發(fā)到郵箱njb1028@yahoo.com.cn，本人將不甚感激。 1.JPG |
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