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gaoxingjian

木蟲 (小有名氣)

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[求助] 求助SEM和EDS

剛剛接觸SEM和EDS，有幾個問題想請教一下壇子里的大牛們。請多多指教。
第一個問題：在SEM的操作過程中，如果中途換scan voltage或者spot size是否需要重新focus？
第二個問題：在SEM的操作過程中，將掃描信號從二次電子換成背散射電子，是否需要重新focus？
第三個問題：在做EDS分析之前，是否應(yīng)該把掃面信號換成背散射信號？
我用的電鏡是JOEL 6490LV。

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1樓 2012-10-14 08:43:58

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way_1990419

金蟲 (小有名氣)

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【答案】應(yīng)助回帖

★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
ant_512: 金幣+1, 感謝應(yīng)助！ 2012-10-16 16:38:02
gaoxingjian: 金幣+2, ★有幫助, 謝謝應(yīng)助！我這兩天親自上機(jī)摸索了一下，基本了解了。 2012-10-16 20:39:45

以前用過6460，應(yīng)該差不多，不過記不太清了，第一、二個好像不需要，第三個需要，不然NORAN里沒圖像

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