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lcwest1390鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
旋轉(zhuǎn)涂膜，有中心圓產(chǎn)生，為什么？
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| 請教各位：我使用甲苯作為溶劑，硅片作為substrate，涂photoresist上去。可是結(jié)果發(fā)現(xiàn)中心總是有顏色與周圍不同的圓存在。把photoresist濃度提高，中心圓消失。以前涂膜從來沒有遇到過這種情況，都是顏色很均勻的一片。請問各位有遇到過這種問題的么？有什么解決方法嗎？ |
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4樓2012-10-22 19:37:09
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