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minyi100銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
有源層TFT，用什么作襯底？
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在下的研究方向?yàn)橹苽溆性磳覶FT，但襯底的選擇讓我傷透了腦筋 底柵結(jié)構(gòu)的TFT，ITO/SiO2/有源層 ITO可以買，中間絕緣的SiO2層怎么弄上去呢？ 還是也有這種復(fù)合膜層購(gòu)買呢？ 請(qǐng)大家給點(diǎn)意見 |
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4樓2012-10-24 16:09:45
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5樓2012-11-22 10:14:47
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一般是PECVD全部長(zhǎng)一層SiO2，然后光刻，然后腐蝕，得到你要的SiO2膜層圖形。你想讓哪個(gè)地方露出來(lái)，咱們就讓哪個(gè)地方露出來(lái)，你給圖紙就行。然后你再做你的有源層。 留郵箱和QQ給你 wangyx@resemi.com , 2460354088 |
6樓2012-11-22 11:42:07
7樓2012-12-16 06:11:38
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