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lu_ren2012木蟲 (小有名氣)
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[求助]
XRD測試問題求助!
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| 測量GaAs襯底的片子時,實際上襯底具有2度的偏角,但是在測試過程中,認為襯底偏角為0度,測出RC曲線,而且在同一個片子上,用同樣方法測試了三個不同的點,請問襯底偏角選著的錯誤對測試結果的影響有多大?用這種方法測試的三個不同點,最后擬合的結果有沒有可比性,可不可以作為參考?請高手指教,非常感謝 |
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