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6sbiam至尊木蟲 (著名寫手)
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[求助]
如何檢測微米網(wǎng)格的厚度？
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做了一微米級(jí)的網(wǎng)格，網(wǎng)格的設(shè)計(jì)厚(高)度是100納米，那么怎么檢測其厚度？AFM可以用不？臺(tái)階儀精度如何？北京哪里可以測試？ 謝謝！ [ Last edited by 6sbiam on 2012-10-24 at 18:20 ] |
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yswyx 
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
6sbiam: 金幣+5, ★★★★★最佳答案 2012-10-24 22:33:10
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建議用光學(xué)輪廓儀，或者白光干涉儀，速度快，精度也不錯(cuò)。 AFM可以用，理論測量范圍是滿足的，但是要小心，爬坡坡度太陡的話，容易撞針，建議先把結(jié)構(gòu)的輪廓搞清楚后再考慮AFM。還有一點(diǎn)是速度慢。 臺(tái)階儀也是可以的，理論Z軸測量精度也是納米級(jí)以下的，但別找老機(jī)器，老機(jī)器沒譜。臺(tái)階儀還有個(gè)問題就是水平精度差些，并且基準(zhǔn)很容易漂，動(dòng)不動(dòng)平面就變彎了，還得軟件校準(zhǔn)。 激光共聚焦也可以考慮，Z軸精度會(huì)差很多，超過10nm，但是測量面積大。 這些都是常用儀器，開放的地方大部分都有，比如國家納米中心啥的。 |
2樓2012-10-24 20:01:04
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