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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 國內做膠片菲林有能做到10微米的嗎？
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[求助]
國內做膠片菲林有能做到10微米的嗎？
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請教大家一個光刻加工的問題，國內做光刻用的膠片菲林有能做到10微米的嗎？ 目前所做的都只能達到20微米，感覺有一定的局限性。 |
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exciting1973 
禁蟲 (正式寫手)
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2樓2012-10-26 15:54:25
yswyx 
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【答案】應助回帖
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樓上恰恰說錯了，菲林到10um以下根本就沒辦法做了。20um已經很好了，10um的話只能是那些對圖形邊緣沒要求的場合用用。 樓主需要注意的是，光刻絕大部分情況是不用菲林的，使用光刻掩模版的。普通的mask，1um，3um，5um，都很常見，只是價格稍有檔次差，但都不貴。產線上用的石英版，價格貴很多，一百多nm的也有。 光刻用菲林的時代是上世紀五十年代，現在用菲林做光刻的只有PCB和碼盤、光柵尺行業(yè)了，隨著激光直寫速度越來越快，這幾個行業(yè)也快要淘汰菲林了。而且現在做mask非常便宜，沒必要用菲林，除非是自己手頭有打印機做點兒簡單的玩玩。 像樓主這樣做bio的，還是少用菲林版的好，菲林的線條輪廓不好，對于bio做流體來說，這種輪廓反應到流道中，就是不可預測的擾動。 如果你想了解更多光刻的問題，可以短信我你的聯系方式  |
3樓2012-10-26 16:34:34
4樓2012-10-26 17:28:43
yswyx
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5樓2012-10-26 17:42:09
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