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[求助]
請問晶體硅會由于離子注入的損傷而在PN結界面產生界面態(tài)么？
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| 實驗室制備的硅PIN光電探測器（5E-11襯底）進行電容-頻率測試的時候，發(fā)現低頻和高頻的電容變化很大（超過一個數量級），不知道如何解釋曲線，懷疑是離子注入的時候形成的損傷造成的界面態(tài)產生的，但是查文章沒有發(fā)現有提及關于同質PN結關于界面態(tài)的討論，究竟晶體硅會由于離子注入的損傷而在PN結界面產生界面態(tài)么？ |
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wbcui
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2樓2012-10-28 21:44:55
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