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tianqin金蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助關(guān)于SEM成像問題
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求助：最近用SEM對薄膜上的晶點進行檢測，薄膜的厚度約100um，薄膜為透明聚碳酸酯膜，晶點有可能在表面也可能在膜內(nèi)（晶點很小，直徑<100um），之前用光學(xué)纖維鏡（×200）下觀測到晶點內(nèi)存在長條狀雜質(zhì)，但是采用SEM卻沒看到任何東西。因此，懷疑是不是由于SEM掃面不到內(nèi)部而沒有觀測到在長條狀雜質(zhì)？若是這樣，SEM一般能夠看表面多深的距離？ 謝謝 |
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