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317001626金蟲 (小有名氣)
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[求助]
有大俠可以提供 Ti 薄膜的刻蝕液配方嗎？
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 如題，本人在用磁控濺射做復(fù)合鍍層，然后在鍍層上圖形； 第一層鍍的鈦，第二層鍍的金，第三層鍍的鉻。 金和鉻的配方都有了，但是洗掉鈦的配方?jīng)]有一個(gè)準(zhǔn)確的； 有大俠可以提供一個(gè)精確的，、權(quán)威的，洗掉鈦的溶液配方嗎？ |
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 薄膜材料和器件制備 |
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2樓2012-11-20 15:09:21
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http://microlab.berkeley.edu/lab ... tchRates2(2003).pdf http://engineering.dartmouth.edu ... /metal.etch.html#Ti |
3樓2012-11-20 17:23:30
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4樓2012-11-21 11:46:39
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5樓2014-10-10 16:43:15
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