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cestbon銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
電子束蒸發(fā)生長10nm的Ti 膜
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| 如題，請問用電子束蒸發(fā)可以生長出10nm的Ti 膜嗎？可以成連續(xù)膜否？以前有人長過嗎？怎么測量厚度呢？ |
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yswyx 
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3樓2012-11-20 20:31:50
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kurtvac
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【答案】應助回帖
感謝參與，應助指數 +1
| 電子束蒸發(fā)設備可以實現，但是要做10nm的厚度并保證均勻性和重復性也不容易，需要你的設備配置有高精度膜厚控制儀（晶控），并且與電子槍功率及擋板的聯動控制要匹配得當，包括對蒸發(fā)速率的控制，另外如果樣品尺寸較大，那么蒸發(fā)距離（靶基距）也要調整得當，必要時候還需要加裝修正擋板，這都是需要實驗積累的數據，每臺鍍膜設備的使用工況都不會完全相同，需要在使用中不斷積累數據，然后修正，才能做出高質量的樣品。http://www.kurtvac.com/ |
5樓2012-11-21 15:50:52
cestbon
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8樓2012-12-11 09:25:48
9樓2014-06-30 09:49:00
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