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buffer3568新蟲 (小有名氣)
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[求助]
有波導的基底表面能用旋涂涂平嗎?
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| 基底上有圖案,(槽深約3微米)旋涂涂膜后膜上也會印出圖案,下面有溝的地方上面也有溝,能有什么方法涂完膜上面是平的嗎? |
yswyx的關于光刻的各種回復 |
專家顧問 (著名寫手)
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專家經驗: +651 |
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