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sleep桉新蟲 (初入文壇)
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[求助]
旋涂法做膜，膜開裂的原因是什么，可以用什么調(diào)節(jié)消除
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我旋的膜在300攝氏度烘干后會(huì)出現(xiàn)很多開裂的點(diǎn)，如圖，用的溶劑主要是乙醇，乙二醇和丙二醇，是不是粘度還是表面張力哪里需要再調(diào)節(jié)一下，請(qǐng)高手指點(diǎn)，還需要加點(diǎn)什么溶劑調(diào)節(jié)一下，謝謝 20121108-1-1-300C 1m-before anneal-1.gif |
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2樓2012-11-23 08:19:51
sleep桉
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3樓2012-11-26 09:45:39
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【答案】應(yīng)助回帖
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fds329: 金幣+1, 感謝應(yīng)助。辛苦了O(∩_∩)O 2012-12-04 10:10:47
fds329: 金幣+1, 感謝應(yīng)助。辛苦了O(∩_∩)O 2012-12-04 10:10:47
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1個(gè)微米的厚度，已經(jīng)比較厚了。并且烘烤時(shí)間長(zhǎng)，開裂越明顯，這說(shuō)明主要的問(wèn)題就是由于薄膜厚度太厚， 加上膜與襯底之間的熱膨脹失配，烘烤時(shí)薄膜內(nèi)應(yīng)力大，最終導(dǎo)致開裂。 另，如果增加溶解物質(zhì)量，則會(huì)導(dǎo)致單次旋涂薄膜的厚度增加，總膜厚增加，裂紋應(yīng)該會(huì)更明顯。 所以，個(gè)人感覺應(yīng)該嘗試降低膠體濃度，且烘烤溫度的升溫速率應(yīng)該盡量慢。 |
4樓2012-11-26 13:08:52
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