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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 關于BPG400真空計的問題，求助
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sauberyang新蟲 (初入文壇)
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[求助]
關于BPG400真空計的問題，求助 已有1人參與
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實驗室買了一臺進口的濺射設備，用的就是inficon的BPG400真空計。 這個真空計位于分子泵和閘板閥之間，最近總是出問題。 每次從低真空跳到高真空，真空讀數(shù)直接顯示10E-11Torr，設備判斷 真空計損壞，我換了三個傳感器了，每次用不幾天就壞了，請問有沒有大神 了解這個東西的，到底是什么原因?qū)е抡婵沼嬵l繁出問題，指教一二。 |
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新蟲 (初入文壇)
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2樓2018-03-29 14:24:46
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