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怎么制備納米級薄膜
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大家好， 因為馬上要實驗了，需要一些薄膜，但我本人又不是做薄膜的，真的不知道該用什么儀器才能做出我要的薄膜，或者買也行，但我一點頭緒也沒有。下面是我需要薄膜的一些信息，請大家給我提一下建議，非常感謝！ 硅做沉底（N型或P型），在上面沉底一層氧化物薄膜，可以是SiO2，ZrO2，TiO2，Al2O3，Y2O3，La2O3，BeO，Ta2O5等，只要幾種就行，或者只能做一種也行，厚度可以從0到幾十個納米之間調(diào)控，均勻度要好。 下個月要試驗了，可是卻沒有樣品，真的很著急。希望有薄膜領(lǐng)域的專家給我一些建議，非常非常感謝了！ |
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Jackcd12
至尊木蟲 (知名作家)
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2樓2012-11-29 11:13:59
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