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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 大家光刻后顯影時，都如何做呢？
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[交流]
大家光刻后顯影時，都如何做呢？
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總是覺得顯影無法控制，就是用最原始的浸沒式，通過觀察確定時間。 大家是怎么做的呢？是手動還是機器，還是那種噴霧的方法？有什么好用的設備嗎？ |
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 科研指導 | yswyx的關于光刻的各種回復 |
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
真空漲落: 金幣+10, 謝謝你~我還得仔細消化消化~呵呵，期待你的文檔哦 2012-12-06 22:35:44
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
真空漲落: 金幣+10, 謝謝你~我還得仔細消化消化~呵呵，期待你的文檔哦 2012-12-06 22:35:44
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如果第一次做，當然是要通過觀察來確定時間。但是一次做好后，基本上就圍繞這個時間來做試驗了�？梢云渌鼦l件不變，圍繞這個時間多做幾個點的試驗，找到最佳的時間。 絕大部分實驗室是手動的，不用機器，當然用機器好一些，尤其是厚膠，用你提到的spray的方式會更好。但是手動也有很多方法，表面皿浸泡是最常用的，也是最差的方法。鑷子要用好，保證能及時撈出，并且及時泡在放水的燒杯里面。或者用花籃承載片子，泡在顯影液里，這樣控制更準確，重復性更好，而且更容易及時泡水。 不知道你的實驗室環(huán)境如何，顯影液溫度是不是穩(wěn)定，各類器械是否齊全。 其實顯影時間和曝光時間以及soft baking時間都是相關聯的。曝光時間很好控制，用遮擋板就很容易在一個片子上做多個劑量。soft baking比較難控制，需要好的熱板或者烘箱，以及很好的時間控制。對于厚膠，熱板更好。 建議這樣做光刻試驗 烘烤時間溫度或時間 曝光劑量 顯影時間 A 4個或8個劑量 肉眼觀察顯透后＋5秒 B 同上 同上 C 同上 同上 D 同上 同上 基本上就能找到最優(yōu)的條件。 有空我可以給大家寫個簡單文檔說明一下最基礎的光刻膠條件是怎樣摸的。 |
2樓2012-12-05 23:03:32
3樓2012-12-06 08:05:11
4樓2012-12-06 08:28:08
5樓2012-12-06 22:44:25
7樓2012-12-07 10:53:30
8樓2013-01-03 21:58:36
9樓2013-05-14 11:09:40
簡單回復
2012-12-06 23:14
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長路漫漫10樓
2013-06-28 10:07
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