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[交流] 磁控反應(yīng)濺射氧化鋅薄膜時(shí)氧氬比為2:1即氧氣過(guò)量時(shí)對(duì)薄膜有何影響

大家好，我是新手。在實(shí)驗(yàn)室用直流磁控濺射反應(yīng)制備氧化鋅，當(dāng)我采用氧氬比為2:1時(shí)，制備的薄膜比較透明，我想知道當(dāng)氧過(guò)量時(shí)對(duì)薄膜生成有什么影響？謝謝啦

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1樓 2012-12-13 16:26:13

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wtwang0817

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首先謝謝你哦，我在制備氧化鋅薄膜的時(shí)候，會(huì)變成淡黃色的薄膜，不知道這是什么原因？

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2樓2012-12-13 21:33:48

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wangyong832

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zhaohaixing: 鼓勵(lì)交流 2012-12-14 09:16:08

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2樓: Originally posted by wtwang0817 at 2012-12-13 21:33:48
首先謝謝你哦，我在制備氧化鋅薄膜的時(shí)候，會(huì)變成淡黃色的薄膜，不知道這是什么原因？

氧過(guò)量可能會(huì)引起缺陷類型數(shù)量上有所差異

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3樓2012-12-14 01:50:53

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xpengpengx

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zhaohaixing: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-12-14 09:16:28

通常來(lái)講，氧越多成膜速率會(huì)越慢氧過(guò)量的話氧空位可能會(huì)降低，這會(huì)影響你膜的電導(dǎo)率另外，你所說(shuō)的膜成淡黃色的這個(gè)與你膜的厚度有關(guān)，膜的厚度不同對(duì)光的折射率不同你看到的顏色就不同注意，透明與無(wú)色不是同一個(gè)概念

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4樓2012-12-14 08:20:02

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欽點(diǎn)木瓜

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zhaohaixing: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-12-14 09:16:40

目前，對(duì)ZnO膜導(dǎo)電的機(jī)理有幾種看法，即氧空位、鋅間隙、還有H離子的影響。以上幾種觀點(diǎn)都有一定的證據(jù)論證了。因此，你氧分壓過(guò)高的話，有可能使ZnO膜中氧空位的缺陷類型減少，從而影響到薄膜的電導(dǎo)率。另外，也會(huì)影響到薄膜的禁帶寬度，從而影響薄膜光透過(guò)率，是的吸收邊藍(lán)移或者紅移。

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5樓2012-12-14 08:32:05

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wtwang0817

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4樓: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-14 08:20:02
通常來(lái)講，氧越多成膜速率會(huì)越慢氧過(guò)量的話氧空位可能會(huì)降低，這會(huì)影響你膜的電導(dǎo)率另外，你所說(shuō)的膜成淡黃色的這個(gè)與你膜的厚度有關(guān)，膜的厚度不同對(duì)光的折射率不同你看到的顏色就不同注意，透明與無(wú)色不是 ...

哦，我知道了，我在不同的氧氬比下做了多組樣品，但是發(fā)現(xiàn)只要薄膜沉積超過(guò)一個(gè)微米，薄膜就開始發(fā)黃，光透過(guò)率約為70%到80%，我想用樣品做拉曼反射，不知道這對(duì)做測(cè)試有沒(méi)有影響呢？

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6樓2012-12-14 09:10:11

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5樓: Originally posted by 欽點(diǎn)木瓜 at 2012-12-14 08:32:05
目前，對(duì)ZnO膜導(dǎo)電的機(jī)理有幾種看法，即氧空位、鋅間隙、還有H離子的影響。以上幾種觀點(diǎn)都有一定的證據(jù)論證了。因此，你氧分壓過(guò)高的話，有可能使ZnO膜中氧空位的缺陷類型減少，從而影響到薄膜的電導(dǎo)率。另外，也會(huì) ...

謝謝你的解答。我還有一點(diǎn)疑問(wèn)，就是我在不用的氧分壓下都做了幾組樣品，發(fā)現(xiàn)沉積厚度增加了以后，薄膜就開始顯淡黃色透明薄膜，透光率只有70%左右，在不同的溫度下也做過(guò)測(cè)試，發(fā)現(xiàn)也是呈淡黃色，不知道影響薄膜光透過(guò)率的因素還有哪些呢？

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7樓2012-12-14 09:17:57

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caoxiafei

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在透過(guò)率曲線中，應(yīng)該在黃色波長(zhǎng)處有高的透過(guò)，在紫光波長(zhǎng)處透過(guò)較弱

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8樓2012-12-14 19:40:12

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6樓: Originally posted by wtwang0817 at 2012-12-14 09:10:11
哦，我知道了，我在不同的氧氬比下做了多組樣品，但是發(fā)現(xiàn)只要薄膜沉積超過(guò)一個(gè)微米，薄膜就開始發(fā)黃，光透過(guò)率約為70%到80%，我想用樣品做拉曼反射，不知道這對(duì)做測(cè)試有沒(méi)有影響呢？...

拉曼散射對(duì)樣品的厚度有一定的要求，對(duì)于薄膜通常要求至少一個(gè)微米以上，如果小于一個(gè)微米測(cè)出的峰就是你襯底的峰（主要的峰是你襯底的峰，分析不出關(guān)于你薄膜的有用信息）如果你的薄膜是用來(lái)做器件的，而你的器件所要求薄膜的厚度小于1個(gè)um那你做這個(gè)測(cè)試就沒(méi)什么意義，如果單單是測(cè)一下該厚度下薄膜的性能還是可以的另外，薄膜的厚度會(huì)影響薄膜的性能，主要對(duì)電導(dǎo)率會(huì)有較大影響

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9樓2012-12-15 08:27:23

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jhtzj138

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氧氣多，所得的薄膜氧空位少，禁帶寬度大，透過(guò)性好，導(dǎo)電性差。薄膜顏色與厚度相關(guān)

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10樓2013-02-18 01:32:28

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