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關(guān)于硅片清洗液工業(yè)生產(chǎn)的研究
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請(qǐng)教個(gè)各位木蟲: 對(duì)于單晶硅片清洗液的工業(yè)生產(chǎn)研究,現(xiàn)在所了解的是光伏企業(yè)制絨前基本都采用低濃度氫氧化鈉與雙氧水清洗2min之后用于制絨,而根據(jù)各種文獻(xiàn)與專利,都在提使用表面活性劑與螯合劑,之中加入無(wú)機(jī)助劑與有機(jī)堿清洗,但本人實(shí)驗(yàn)使用了其所提到的表面活性劑,若出水之后不仔細(xì)沖洗,表面活性劑很容易在硅片殘留,影響制絨反應(yīng),根據(jù)其提供的清洗工藝,都需要清洗5-8min,之后浸洗也需要相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間,這在生產(chǎn)線上很難實(shí)現(xiàn),同時(shí)實(shí)驗(yàn)根據(jù)大部分文獻(xiàn)專利提供的配方,其清洗效果基本一般,大部分污染物是在其IPA制絨體系中得到清洗,如果實(shí)驗(yàn)使用自己的制絨配方,低濃度氫氧化鈉與雙氧水清洗,制絨之后干凈,而那些配方基本無(wú)一干凈的,自己研究的清洗配方想對(duì)硅片的清洗率達(dá)到90%以上,表面活性劑的殘留對(duì)制絨不存在影響,不知道各位蟲友怎么解決這一問(wèn)題,使用的是什么表面活性劑 |
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