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wuli05_li木蟲 (小有名氣)
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[求助]
鈦膜表面略微粗糙化
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求助一下小木蟲上的朋友： 我的實(shí)驗(yàn)?zāi)康氖沁@樣的，將濺射在硅基底表面的一層鈦膜（鈦膜厚度為500nm）放在80°C的H2O2溶液（H2O2溶液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為15%）中反應(yīng)，使鈦膜氧化成TiO2的膜。 我的實(shí)驗(yàn)遇到的問題是這樣的，如果直接將濺射完的鈦膜和80°C的H2O2反應(yīng)，實(shí)驗(yàn)很難進(jìn)行。只有使鈦膜的表面有略微的粗糙化才能和H2O2發(fā)生氧化反應(yīng)。 我之前對(duì)鈦膜進(jìn)行過酸化處理來使其表面粗糙化。用稀釋50倍和100倍的HF（HF的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為49%），腐蝕的時(shí)間是1秒。但是稀釋后的HF腐蝕速度非常快，腐蝕的速率也不容易控制。而且濺射上的鈦膜很薄（鈦膜厚度為500nm），這樣就更增加了腐蝕的困難。 文獻(xiàn)上有用HF和硝酸的混酸來使鈦片的表面粗糙化的，但是硝酸對(duì)硅片是有腐蝕的，所以這個(gè)方法也不適用我這個(gè)實(shí)驗(yàn)。 請(qǐng)有這方面經(jīng)驗(yàn)的老師和同學(xué)賜教。謝謝。 |
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2樓2013-01-07 10:52:35
wuli05_li
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3樓2013-01-07 10:54:16
wolfghost
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wuli05_li4樓2013-01-07 11:49:42
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5樓2013-01-07 12:43:23
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