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hughfly新蟲 (初入文壇)
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[交流]
厚膠光刻時(shí)出現(xiàn)的問題——針孔 已有9人參與
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厚膠光刻時(shí)，顯影烘干后，在光刻膠上容易出現(xiàn)一些小氣泡，還有一些地方有針孔，這個(gè)是哪一步出現(xiàn)的問題呢？求高手指點(diǎn)。 勻膠轉(zhuǎn)速：2000r；前烘：90℃、40min、曝光：100s；顯影：室溫，150s； |
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 薄膜材料和器件制備 | yswyx的關(guān)于光刻的各種回復(fù) | 實(shí)驗(yàn)們 |
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nanocrazy
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2樓2013-01-10 21:57:57
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3樓2013-01-10 22:21:46
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4樓2013-01-10 23:25:27
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