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ciompman鐵桿木蟲 (職業(yè)作家)
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[求助]
【求助】AZ9260光刻膠的性能參數(shù)
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有沒有蟲友知道： AZ9260光刻膠的表面張力（surface tension）、動力學(xué)粘度（dynamic viscosity）、接觸角（contact angle）、密度（density）這四個參數(shù)是多少？ 多謝！ |
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
ciompman: 金幣+5, ★★★很有幫助, 多謝幫助。 2013-01-24 12:05:58
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密度（density）1,07 g/cm^3 at 20 °C Flash point : 40 °C Method: DIN 51755 (closed cup) =================== 表面張力（surface tension） 動力學(xué)粘度（dynamic viscosity） 接觸角（contact angle） 【個人認(rèn)為，這三個參數(shù)不是光刻膠本身的物理參數(shù)，和基底有很大關(guān)系，datesheet不會給出的，最好自己測量比較好。】 ================== 光刻工藝參考：http://www.nanofab.utah.edu/svn/ ... 260_photoresist.pdf |
2樓2013-01-24 10:51:57
ciompman
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3樓2013-01-24 15:38:43
jin151
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我是做光子晶體的，可以交流一下么4樓2013-01-26 11:51:52
cloudfeng
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5樓2013-12-16 15:34:17
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6樓2013-12-16 21:46:49
7樓2014-04-14 11:09:33
萌新求幫忙
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8樓2017-05-16 20:02:29
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