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shining1989新蟲 (初入文壇)
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[求助]
各位大神，求助一下多層透明導(dǎo)電薄膜中的中間金屬層一般是用什么方法沉積的啊
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| 為提高薄膜的導(dǎo)電性能，會研究多層薄膜，但是中間金屬層（一般為Ag層）怎樣才能沉積的很薄很均勻呢？用的磁控濺射法，不能達到很好的效果啊，膜層不均勻，導(dǎo)電性能也不夠好啊 |
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2樓2013-02-26 16:06:35
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4樓2013-02-27 09:33:16
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5樓2013-02-27 09:33:44
【答案】應(yīng)助回帖
★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
蔣青松: 金幣+1, 鼓勵交流 2013-02-28 20:56:28
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
蔣青松: 金幣+1, 鼓勵交流 2013-02-28 20:56:28
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1、這種Ag導(dǎo)電層還是用中頻磁控做比較好，你要做的就是控制工藝參數(shù)。 2、相比之下，它的成膜速率比較穩(wěn)定500nm/h以內(nèi)，Ar分壓不要大于0.5Pa，本底真空抽到10-4，電壓不要超過500V，偏壓自己掌握； 3、多弧鍍一個高純銀靶就夠你折騰的，老師也未必同意你采購，國內(nèi)多弧設(shè)備液滴的控制絕對都不怎么樣，一般主要用于沒有表面光潔度要求和反射率要求的膜系，勸你不要嘗試了。 |
6樓2013-02-27 21:55:00
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