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NaOH會對PMMA有影響嗎？
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| 最近進(jìn)行電子束刻蝕。使用的是4um的PMMA，基材為Si片。由于PMMA導(dǎo)電性不佳，在其上熱蒸發(fā)了一層薄Al（10nm）左右。進(jìn)行完電子束刻蝕后，首先需要用堿液去除PMMA上的Al。我采用的是1%的NaOH溶液，但是PMMA會從Si片上剝離？這是什么情況？ |
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2樓2013-03-07 12:39:42
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3樓2013-03-07 17:23:11
4樓2017-05-10 17:21:37
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