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zdtshgc新蟲 (初入文壇)
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有了解SU-8光刻膠發(fā)展史的嗎？幫忙！
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| 哪位朋友熟悉SU-8光刻膠的發(fā)展史，想了解下SU-8最早用于什么方向，最早用于MEMS領(lǐng)域是怎么做的，最早用來(lái)做多層結(jié)構(gòu)的文獻(xiàn)，不勝感激。能提供相應(yīng)的參考文獻(xiàn)就太謝謝了。 |
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yswyx 
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2樓2013-03-07 19:06:56
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4樓2013-03-08 16:11:08
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