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gmy007銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
急求：如何對納米壓印Si模板的表面進行處理達到防粘的效果？
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| 我想用Si模板進行壓印，怎么對模板表面進行防粘處理？很著急，謝謝 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
gmy007: 金幣+2, ★★★很有幫助 2013-03-28 10:19:52
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
gmy007: 金幣+2, ★★★很有幫助 2013-03-28 10:19:52
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又是你…… 誰告訴你壓印需要所謂的“墨水”附著在Si表面呢？咱是做科研，不是憑自己領(lǐng)域里面的那點兒想像…… 樓主要的東西是脫模劑或者叫防粘劑，有很多是液體的，直接涂覆在模板表面，也可以用浸泡的方式。一般賣納米壓印膠的地方都有。代用品也大把大把的。典型的像杜邦的液體teflon。 如果是想用干法脫模涂層，有類teflon涂層，類金剛石涂層，甚至SiO都可以，都可以用PECVD實現(xiàn)。 英文的話，你可以搜anti-adhesion layer之類的詞 |
3樓2013-03-27 20:43:43
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