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壓電二氧化硅納米尺寸的材料常量
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微傳感器研究后面用到一個算例, 我選的材料是二氧化硅 就是作為壓電薄膜的材料 覺得二氧化硅的各種參數(shù)比較好找, 而且我不是研究材料的,就是用二氧化硅作為一個算例而已 但是 我發(fā)現(xiàn)二氧化硅的材料參數(shù)也不是很好找哎。。。 因為我的尺寸是在納米量級的,薄膜厚度在納米量級之后,表層的材料常數(shù)會與體的不同,二氧化硅薄膜在納米量級之后的彈性模量,泊松比,還有表面的彈性常量在哪里可以查到呢? |
金蟲 (著名寫手)
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