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薄膜電導(dǎo)率測(cè)試
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半導(dǎo)體薄膜,膜厚度不均勻,想用四探針測(cè)試電導(dǎo)率,可行否,是否需要鍍電極. 以前測(cè)試霍爾, 沒鍍電極,測(cè)探針間電流時(shí),不同探針間電流不一樣,所以沒測(cè)試出來(lái) 請(qǐng)大家給出點(diǎn)意見.. |
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