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apmfly新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
求助，各位大蝦，這張F(tuán)TIR圖譜中能看出拿幾個(gè)位置的特征峰，雜峰略多
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樣品是在襯底（180μm）表面用PECVD沉積了80nm左右厚度的SiNx薄膜，考慮的是薄膜的鈍化效果，鈍化效果直接由薄膜中的H含量決定，所以我想知道薄膜里面的SI-H N-H SI-N的含量 希望大俠有所指教 IMG_0054.JPG |
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