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cg_sdly金蟲 (小有名氣)
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[求助]
求問如何設(shè)置旋涂濃度和轉(zhuǎn)速？？
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我現(xiàn)在用四氫呋喃做溶劑旋涂一份有機(jī)小分子混合物，旋涂溶液濃度為40 wt%，低速500 rps先旋6 s，隨后是2000 rps 旋30 s，但是現(xiàn)在旋出來的薄膜不均勻，中間厚，四周薄，同時具有從中心向四周發(fā)散的線條（見圖）。請問該如何解決？？如何調(diào)節(jié)旋涂的參數(shù)，從而使得薄膜更加均勻？？現(xiàn)在四周的厚度達(dá)到了我的要求，而中間部分太厚了 D3-3 聚合前！.jpg [ Last edited by cg_sdly on 2013-4-20 at 08:20 ] |
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