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[求助]
求助各位蟲友，XRD圖譜分析。
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大家好！ 請教各位蟲友：本人第一次做XRD測試，樣品是在Si基底上長的10nm厚的Al2O3薄膜。Al2O3是用原子層沉積制得，溫度比較低。XRD圖譜雜亂無章，是不是由于Al2O3沒有結(jié)晶？或者是掃描速度太快引起的？請大家?guī)臀曳治龇治觥８郊菙?shù)據(jù)。還有就是一定要學(xué)會Jade才能比對衍射峰嗎？有沒有更簡單的方式呢？多謝大家了！  1.jpg |
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2013-04-20 16:51:41, 37.79 K
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