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[求助]
Al在空氣中氧化形成的氧化鋁薄膜是否容易擊穿？
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| 我想請問下，我想生成一薄層（10nm左右）的氧化鋁薄膜，是否可以用在空氣中暴露的方法氧化，氧化完之后的氧化鋁薄膜的質(zhì)量怎么樣？兩邊沉積金屬電極之后加電壓會不會擊穿呢？謝謝大家的解答�。� |
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chengqiankk
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【答案】應助回帖
fbqrdzs: 應助指數(shù)+1 2013-07-07 11:05:46
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真空腔不知道。 問題是你怎么解決真空腔中表面原生氧化層去除？ |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
xiaoxiao1084樓2013-04-25 17:33:15
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