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yangac_至尊木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[求助]
磁控濺射儀Fe靶起輝疑點(diǎn)！急需�。�！
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蟲(chóng)蟲(chóng)們好，向大家請(qǐng)教一個(gè)問(wèn)題，急需！希望大哥大姐給予指導(dǎo)�。� 情況是這樣。我換了新的Fe靶，直徑70mm，厚度2mm，裝靶時(shí)萬(wàn)用表已量，確定靶與靶罩未短路，用的是直流勵(lì)磁線圈。但是問(wèn)題是：1.起輝氣壓要在11Pa才能起輝，起輝后氣壓降不下來(lái)，稍微降低一點(diǎn)氣壓就不起輝；2.功率加到12w，如果加大功率Setpoint就閃爍，Plazma會(huì)更亮，如果減小功率Setpoint亮，但是Plazma就滅，意思是功率加不上去；3.起輝預(yù)濺的過(guò)程中，電壓很大1200v左右，電流20mA；3.如果是起輝一段時(shí)間功率歸到0，也就是不加功率，可是靶頭處還有輝光，如果直流電源關(guān)掉on打到off，輝光消失。老板說(shuō)是因?yàn)檩x光在靶罩之間形成通路，沒(méi)有在靶與基片之間形成通路。 總之問(wèn)題很嚴(yán)重，急需大家?guī)兔Γ奈桓呤謥?lái)給解決一下，一定重謝，要多少BB都可以哦      |
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yangac_
至尊木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 7 (幼兒園)
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2樓2013-04-27 17:02:08
huihui1991 
銅蟲(chóng) (小有名氣)
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
3樓2013-04-28 12:04:36
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