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離子束輔助沉積Al2O3的問題
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| 采用離子束輔助沉積的方法在硅片上沉積了120nm厚的Al2O3,采用XRD沒有測出峰,是否說明此薄膜是無定形態(tài)呢? |
薄膜材料的表征 | 薄膜材料和器件制備 |
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