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清之晨鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
四探針測量AZO薄膜方塊電阻
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| 我用磁控濺射摻鋁ZnO靶材（AZO）制備薄膜，可是制備出來的薄膜（在硅片上鍍的大多呈紫色）用四探針怎么測不出來方塊電阻呢（電流就在10微安有個數(shù)，量程再大就沒數(shù)了，儀器應該沒問題）？難道我把AZO制成高阻的了？哪位高手能幫忙分析一下呀，謝謝了 |
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nono2009
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2樓2013-04-30 17:24:47
清之晨
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3樓2013-05-01 09:29:37
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