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=小魚=銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
電子束蒸發(fā)ITO 表面異常
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各位朋友，最近在電子束蒸發(fā)ITO時(shí)候，經(jīng)常發(fā)現(xiàn)表面有黑點(diǎn)。始終搞不明白是怎么產(chǎn)生的，希望大家一起幫助看看。 圖片如下 成分分析未見(jiàn)差異，懷疑和材料結(jié)晶發(fā)面是否有關(guān)？、請(qǐng)指教��！ |
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玉面小飛龍
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2樓2013-05-11 09:49:07
=小魚=
銅蟲 (小有名氣)
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3樓2013-05-11 18:08:17
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在網(wǎng)上找的 看看你可能存在哪些問(wèn)題： 磁 控 濺 射 膜 常 見(jiàn) 故 障 的 排 除膜 層 灰 暗 及 發(fā) 黑 ( 1 )真 空 度 低 于0 . 6 7 P a。 應(yīng) 將 真 空 度 提 高 到0 . 1 3 - 0 . 4 P a。( 2 )氬 氣 純 度 低 于9 99 。 應(yīng) 換 用 純 度 為9 9.9 9%的 氬 氣 。 ( 3 )充 氣 系 統(tǒng) 漏 氣 。 應(yīng) 檢 查 充 氣 系 統(tǒng) 排 除 漏 氣 現(xiàn) 象 。 ( 4 )底 漆 未 充 分 固 化 。 應(yīng) 適 當(dāng) 延 長(zhǎng) 底 漆 的 固 化 時(shí) 間 。 ( 5 )鍍 件 放 氣 量 太 大 。 應(yīng) 進(jìn) 行 干 燥 和 封 孔 處 理. 膜 層 表 面 光 澤 暗 淡( 1 )底 漆 固 化 不 良 或 變 質(zhì) 。 應(yīng) 適 當(dāng) 延 長(zhǎng) 底 漆 的 固 化 時(shí) 間 或 更 換 底 漆 。 ( 2 )濺 射 時(shí) 間 太 長(zhǎng) 。 應(yīng) 適 當(dāng) 縮 短 。 ( 3 )濺 射 成 膜 速 度 太 快 。 應(yīng) 適 當(dāng) 降 低 濺 射 電 流或電壓 |
4樓2013-05-11 18:14:08
=小魚=
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5樓2013-05-13 08:28:13
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6樓2013-05-13 11:24:19
7樓2013-05-20 10:07:21
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