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zhte-8936金蟲 (正式寫手)
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[求助]
求助！合成材料時CVD對真空系統(tǒng)的要求 用過CVD的大神來
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| 因為實驗室要買套CVD，現(xiàn)在不確定應(yīng)該選用低真空設(shè)備還是高真空設(shè)備，二者價錢上差了七八萬。低真空設(shè)備實際只能抽到2到5Pa，高真空設(shè)備能抽到0.001到0.01Pa。因為反應(yīng)要在1000度氣氛（氨氣氫氣之類的）下進(jìn)行，痕量氧氣對材料影響會很大，因此想知道低真空設(shè)備能否滿足要求。謝謝大家！ |
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gxytju2008
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2樓2013-05-14 20:03:12
我也想知道這個問題~ 同求助
3樓2013-05-14 20:11:48
zhte-8936
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5樓2013-05-15 08:21:53
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6樓2013-05-15 10:14:04
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7樓2013-05-16 15:28:16
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8樓2013-05-16 16:18:15
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9樓2013-05-16 17:38:58
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10樓2013-05-17 09:40:16
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