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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » Si片上旋涂法生成均勻聚亞酰胺薄膜
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eriker新蟲 (初入文壇)
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[求助]
Si片上旋涂法生成均勻聚亞酰胺薄膜
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請問在Si片上旋涂法生成聚亞酰胺薄膜，對硅片要進行親水或疏水處理什么的嗎？我直接旋涂了capton溶液，硅片表面的膜很不均勻，有些地方都沒涂上。求助生成均勻薄膜的方法。 還有因為這個原因涂廢了很多硅片，請問有什么方法可以清洗掉硅片表面的PI膜？ |
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yswyx 
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4樓2013-05-15 12:16:15
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2樓2013-05-15 07:54:54
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3樓2013-05-15 10:59:55
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5樓2013-05-15 17:49:54
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