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半導(dǎo)體薄膜制備及加工技術(shù)實(shí)驗(yàn)室

磁控濺射、電子束蒸鍍制備金屬薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金屬薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO；IBE、RIE、WE刻蝕加工

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foxs2

木蟲(chóng) (文壇精英)

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   我室為專門(mén)的薄膜制備、刻蝕、加工實(shí)驗(yàn)室，擁有多臺(tái)大型磁控濺射、電子束蒸鍍、LPCVD設(shè)備。可提供Au、Ag、Al、Cu、Cr、Fe、Mo、Ni等金屬薄膜和Si、SiO2、Si3N4、Al2O3、ITO、AZO、ZnO等非金屬薄膜鍍膜服務(wù)，鍍TCO透明導(dǎo)電電極。提供1.1毫米玻璃片、硅片基底，其他基底請(qǐng)自備。
   可提供RIE、IBE、WE等全套刻蝕加工服務(wù)，刻蝕各種金屬、非金屬圖形結(jié)構(gòu)。

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gzl9901

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2樓2013-05-18 04:53:50

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wlscj

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3樓2013-05-18 05:25:35

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emubackup

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userhung

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yumoym

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6樓2013-05-18 07:21:27

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ljt1982me

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7樓2013-05-18 07:26:23

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jcajcazhzh

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minimouse

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9樓2013-05-18 07:51:54

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fly51000

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10樓2013-05-18 07:56:32

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