磁控濺射、電子束蒸鍍制備金屬薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金屬薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO；IBE、RIE、WE刻蝕加工
聯(lián)系人: 趙工 / 郵箱: zyy44138172@126.com / 手機(jī): 15108299816
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200樓2013-09-05 16:21:20
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