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請教 Al2O3 晶格常數(shù)。拜托拜托~~
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大家好！ 想請教一下大家，我用ALD（原子層沉積）在Si基底上制得10nm厚的Al2O3薄膜，實(shí)驗(yàn)溫度100-200℃。它的晶格常數(shù)是多少呢？有誰知道，能否告訴一下，不勝感激！  |
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3樓2013-05-20 15:34:49
篤學(xué)明志
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
scream: 金幣+5, ★★★很有幫助 2013-05-20 15:35:02
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
scream: 金幣+5, ★★★很有幫助 2013-05-20 15:35:02
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_publ_author_name 'Finger, L.W.;Hazen, R.M.' _cell_length_a 4.7607(9) _cell_length_b 4.7607(9) _cell_length_c 12.9947(17) _cell_angle_alpha 90. _cell_angle_beta 90. _cell_angle_gamma 120. _cell_volume 255.06 _cell_formula_units_Z 6 _symmetry_space_group_name_H-M 'R -3 c H' _symmetry_Int_Tables_number 167 _refine_ls_R_factor_all .03 loop_ _symmetry_equiv_pos_site_id cell_length_a 5.12(1) _cell_length_b 5.12(1) _cell_length_c 5.12(1) _cell_angle_alpha 55.28 _cell_angle_beta 55.28 _cell_angle_gamma 55.28 _cell_volume 84.5 _cell_formula_units_Z 2 _symmetry_space_group_name_H-M 'R -3 c R' _symmetry_Int_Tables_number 167 |
2樓2013-05-20 12:27:29
篤學(xué)明志
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
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Al₂O₃有多種變體，常見的是α，γ形都是白色晶體 第一個(gè)是α形 自然界中的剛玉是α形屬于六方最密堆積，熔點(diǎn)，硬度高，不溶于酸堿耐腐蝕，絕緣性好 將氫氧化鋁與偏氫氧化鋁或鋁銨礬在723K共熱可得γ形，不溶于水，但吸水性很強(qiáng)，有強(qiáng)吸附能力與催化活性 β形有離子傳導(dǎo)能力，允許Na+通過 氧化鋁是將鋁礬土原料經(jīng)過化學(xué)處理，除去硅、鐵、鈦等的氧化物而制得，是純度很高的氧化鋁原料，Al₂O₃含量一般在99%以上。礦相是由40%～76%的γ- Al₂O₃和24%～60%的α- Al₂O₃組成。γ- Al₂O₃于950～1200℃可轉(zhuǎn)變?yōu)棣? Al₂O₃（剛玉），同時(shí)發(fā)生顯著的體積收縮。 你實(shí)驗(yàn)溫度100-200℃。。。 最好做下表征 |
4樓2013-05-20 16:34:21
zbdfwq5777
木蟲之王 (文學(xué)泰斗)
至尊山羊
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5樓2013-05-20 16:37:24
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