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zouzehuaak新蟲 (初入文壇)
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[求助]
MgF2,LiF做磁控濺射用靶材是否有毒
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MgF2,LiF在網(wǎng)上查的性質(zhì)是微毒，那做靶材的時(shí)候毒性有多大，對(duì)人體是否有傷害？ 順便問(wèn)下，這兩種材料在可見光范圍及近紅外區(qū)域透射率有多大？ 十分感謝 |
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 磁控濺射靶材資料大全 |
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zouzehuaak
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靶材中毒指的是靶材不能起弧 不是說(shuō)靶材對(duì)人體有毒。 這兩種靶材還好吧，毒性應(yīng)該不大。而且是在封閉腔內(nèi)濺射，怕啥 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
2樓2013-05-27 15:08:24
wbcui
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4樓2013-05-28 19:42:07
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5樓2013-05-28 21:00:28
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