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whutwu木蟲 (小有名氣)
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[求助]
[30金幣]硅片防粘處理求助！PDMS膜揭不掉��！ 已有2人參與
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實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)在需要做較薄的PDMS膜，以前沒有用稀釋直接10:1的膜可以脫下，但是現(xiàn)在甲苯稀釋后，用3000rpm的轉(zhuǎn)速旋涂就揭不下來(lái)了。請(qǐng)問下大家有沒有什么好的方法可以做這種可以揭下來(lái)的PDMS膜？最重要的事不要黏在硅片上。 [ Last edited by whutwu on 2013-5-30 at 09:07 ] |
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