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xl1987木蟲 (正式寫手)
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[求助]
急！求如何洗掉氧化硅片上的臟東西。。。
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各位好！ 硅片至于furnace中， 950C通氧氣，生長(zhǎng)氧化硅。 想把氧化硅洗干凈，就是把表面的臟東西洗掉，我嘗試了把film浸沒在丙酮溶液中，超聲洗滌10分鐘，以及氧氣等離子體處理，。。�？墒怯霉鈱W(xué)顯微鏡觀察，表面還是有很多雜物。。 求助！�。�！ |
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jiagle
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2樓2013-06-06 07:59:26
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