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jqbyyawyx新蟲 (初入文壇)
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[求助]
急！請教表面反應(yīng)速率與刻蝕速率之間的關(guān)系是什么�。�
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| 如題！我想知道如果已經(jīng)求得刻蝕速率的話，如何推導(dǎo)其表面反應(yīng)速率��？ |
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cs104
金蟲 (正式寫手)
我宅，故我?guī)洠晃規(guī)�，故我在�?/p>
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【答案】應(yīng)助回帖
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一般叫“蝕刻”（etch），而不是叫刻蝕。 一般蝕刻快說明反應(yīng)快，成正比關(guān)系。 蝕刻速率的單位一般是nm/min，μm/mim之類，基本意思是，單位時間內(nèi)材料被腐蝕、蝕刻去的厚度。 蝕刻速率一般可根據(jù)，單位時間內(nèi)，被蝕刻材料失重(蝕刻前后的質(zhì)量之差)計算，即 失重/密度=體積，體積/蝕刻面積=蝕刻厚度，蝕刻厚度除以時間得出蝕刻速率。 反應(yīng)速率單位為mol/(L·s)、mol/(L·min)之類的，表示單位時間內(nèi)反應(yīng)物的濃度的減少或生成物濃度的增加量來表示。 蝕刻的反應(yīng)速率，可以根據(jù)單位時間內(nèi)材料失重計算出消耗的蝕刻液有效成份的消耗量，如，1L蝕刻液，1min，消耗了0.01mol的有效蝕刻成分，則蝕刻液的反應(yīng)速率為：0.01mol/(L·min) |
2樓2013-06-10 11:30:52
sony8620
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3樓2013-06-10 21:08:00
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